新科技，成就我们的智能生活 ——第20届中国工博会“创新科技馆”侧记(2)

　　IC前道投影光刻机是集成电路装备中技术难度最高、价格最昂贵的关键设备，其集精密光学、机械、控制、材料等先进科技和工程技术于一体。国内企业起步晚、基础弱，先进光刻机设备的核心技术一直被国外半导体设备巨头垄断。上海微电子装备（集团）股份有限公司的600系列IC前道光刻机完全拥有自主知识产权，包含多项创新技术，如高分辨率、大数值孔径和曝光视场的投影物镜、高速高精度运动台同步技术，以及精确的调焦调平和对准先进光信号处理等技术，均处于国内较高水平，并达到同类产品的世界领先水平。

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　　在机器人展区，新产品和集成应用成为独特的风景：工业机器人有的在混合码垛，有的在打磨抛光。为了赋能机器人和智能制造产业，爱仕达公司在上海成立了智能研究院，对机器视觉、MES、工业云..、大数据等进行深度研究和应用，打造智能制造工业互联网..。据董事长陈合林介绍，在上海启动的一期智能谷，将打造智能制造技术研发中心、智能制造示范体验中心等六大中心。